




怕粉尘, 若粉尘进入流量计会堵塞传感器和分流器, 造成测量误差, 要求在进气口前加装过滤器;
怕液体和油污进入mfc, 会造成失控, 如果mfc的出口接有液体罐, 需要在mfc出口加上单向阀, 防止液体回流;
怕使用潮湿的腐蚀性气体, 潮湿的腐蚀性气体会使不锈钢生锈, 造成mfc通道损坏, 因此要求在使用腐蚀性气体前, 要对气体和mfc管路系统进行干燥处理;
怕在使用强腐蚀性、有毒等危害性气体时不按安全规则操作, 有可能造成产品损坏和其它更---的损失。正确使用, 安全操作, 对每个用户都是重要的。
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热式流量器的基本原理是利用外部热源对管道内的被测流体加热,热能随流体一起流动,通过测量因流体流动而造成的热量(温度)变化来反映出流体的流量。
当流体成分确定时,流体的定压比热为已知常数。因此由上式可知,若保持加热功率恒定,则测出温差便可求出流量;若采用恒定温差法,即保持两点温差不变,则通过测量加热的功率也可以求出流量。由于恒定温差法较为简单、易实现,所以实际应用较多。这种流量计多用于较---体流量的测量。
为避免测温和加热元件因与被测流体直接接触而被流体玷污和腐蚀,可采用非接触式测量方法,即将加热器和测温元件安装在薄壁管外部,而流体由薄壁管内部通过。非接触式测量方法,适用于小口径管道的微小流量测量。当用于大流量测量时,可采用分流的方法,即仅测量分流部分流量,再求得总流量,以扩大量程范围。
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流量控制器是一种测量气体流量的仪表,其测量值不因温度或压力的波动而失准,多晶炉流量计报价,不需要温度压力补偿,可根据需要进行流量设定,自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。可以地控制气体的给定量,这对很多工艺过程的流量控制,是用于对于不同气体的比例控制。直接测量气体的流量,输出流量信号,不用其他设备。可以的测量微小流量,采用分流装置,又可以测量大流量,而且温度,压力范围很大。
一、压力状况
在加气机中使用的流量控制器测量的气体的压力不低于20mpa,压力远远大于---压。高压改变了振动管的内应力,提高了弹性管的等效刚度,从而使振动管的振动频率增大,两管的相位差减小;气体流经振动管时,多晶炉流量计,存在压降,使得振动管受力不对称,这也对相位差有影响。
二、温度影响
用于加气机的cmf工作温度远低于室温,温度影响必须考虑;介质温度或环境温度变化会改变测量振动管的杨氏模量和影响零漂的结构等各种因素。
三、流速问题
压缩气体密度低,流速快,其影响不能忽略。理想情况下,流速增大则振动管的振动频率减小。通常流体密度变化小,多晶炉流量计价格,可以认为流速与流体流量正比,因此流速的补偿可以转化为流量变化的非线性因素进行补偿。
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