




我们通常称的流量控制器,它的全称是热式气体流量控制器,英文:mass flow controller(简称mfc);而流量计的全称是热式气体流量计,英文名:mass flow meter(简称mfm)。它们是一种准确测量气体流量的仪表,其测量值不会因为温度或者压力的变化而产生失准的现象。
松盛测控本体带数显流量控制器/流量计
流量计,是一种计量和监测的仪表;而流量控制器,不但具有流量计的功能,更重要的是:它能够自动地控制气体的流量,也就是说,小流量气体流量计厂家,用户可根据情况的需要,来进行流量的设定,流量控制器则自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,小流量气体流量计,也不会使其偏离当初的设定值。简单来说,流量控制器就是一个稳流装置, 是一个可以手动设定或与计算计连接的自动控制气体的稳流装置。
所以总的来说,一般情况下,仅对气体流量进行计量或监测的话,用流量计就能够满足要求;而如果是需要对气体流量进行控制的话,则需要用流量控制器。某些测量场合,用二者皆可,如对毛细管流通能力的测量,当定压测流的时候, 用流量计; 当定流测压时, 需要用流量控制器。注意, 当流量控制器处于清洗状态时, 也可以当流量计使用, 只不过气压降要比普通流量计大一些。
---气体稀释装置是一种用于物理学、化学、环境科学技术及资源科学技术领域的计量仪器,其工作原理是能对气瓶中的高浓度气体进行---例稀释混合。根据气体方程式,仪器可自动计算配比浓度。有些型号可选配自校准和自诊断功能。混合气体的精度、稳定性取决于使用的---气体流量控制器。
流量控制器(流量计)由流量传感器,分流器通道,流量控制调节阀和放大控制电路等部件组成。采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的流量,可以不受温度压力的影响。将传感器测得的流量信号进行放大,然后与设定的电压进行比较,用所得的差值信号去驱动控制调节阀门,通过闭环,去控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。从而得到设定的气体浓度。
ist公司的fs5.0.1l.195是一个热质流量传感器,用于各种气流应用.热质流量传感器使用热传递原则,小流量气体流量计哪里有,确定流体的流率.随着流体通过传感器,热质由传感器传递到媒体.此关序取决于流动速率.随着流动增加,热量被传递.通过了解媒体的温度,即可通过为保持恒定温度差的电压补偿量得出流速。
而ist-ag fs7流量传感器宽广的测量范围允许将传感器直接置于被测气路当中,免去复杂的旁路设计。传感器具有陶瓷基底与钝化玻璃层进行保护,具有较佳的长期稳定性。
因此在终端应用中,流量控制器的---性多半是许多半导体工艺的基础。mfc 的失准或制造缺陷会导致晶圆产量下降,甚至会损坏整个晶圆。采用ist流量传感器则可以为mfc产品带来如下优势:
1、足够宽的测量范围使得在许多场景中不必使用旁路,而进行直接测量,提高测量的准确性。
2、薄膜技术带来---的响应灵敏度,在一般测量状态就可以瞬间响应压力浪涌。
3、小巧的体积与简单的安装方式,给气路结构优化创造的空间。
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