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    2024-2-1

刘彦燕
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流量控制器

越来越多的朋友对气体流量计﹑流量控制器产生了浓厚的兴趣。

流量控制器, 即mass flow controller(缩写为mfc), 不但具有流量计的功能,更重要的是,它能自动控制气体流量,即用户可根据需要进行流量设定,mfc自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。



流量控制器

怎样进行不同气体的流量换算?

产品出厂一般是按氮气标定﹑按氮气流量确定流量规格。用同一规格的mfm/mfc测量不同的气体,当流量检测值相同时,转子流量计报价,实际的流量值可能不同。我们在说明书中给出了不同气体相对于标定气体(氮气)的流量转换系数。

如果您使用的产品是标准出厂产品(按氮气标定显示),而需要知道实际使用气体的流量时,先在产品说明书中找到实际使用气体的转换系数。在测量过程中,以此系数乘以流量显示值即是实际使用气体的流量;反之,在确定所购产品的量程时,转子流量计,以实际使用气体的期望流量值除以转换系数,转子流量计多少钱,即是相应的氮气标定产品的流量值。

空气、o2﹑h2﹑co﹑hcl、hf等气体,其转换系数约为1.0 , 一般可直接用按氮气标定显示的产品,不必换算。



流量控制器

气体流量单位一般以sccm(standard cubic centimeter per minute,每分钟标准毫升)和slm(standard liter per minute,每分钟标准升)来表示。这意味着,这种仪表在不同的使用条件下,指示的流量均是标准状态下的流量。标准状态规定为: 气压—101325pa (760mm hg); 温度—0℃ (27---k)。这是这种仪表和其它流量计的重要区别,也是sccm﹑slm不同于ml/min﹑l/min 之处。





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