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气体流量控制器在真空镀膜机中的使用

真空镀膜机中经常使用到的热式气体流量控制器主要是用来控制气体的进气量，把气体流量准确的输入到真空腔室内。ac-s030c系列的气体流量控制器主要是用于控制微小流量的气体，采用全新的制作工艺，是在20℃，1个---压条件下标定的，主要是指气体在1分钟的体积流量单位。

热式气体流量计

热式流量计传感器包含两个传感元件，一个速度传感器和一个温度传感器。它们自动地补偿和校正气体温度变化。仪表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值，使速度传感器和测量工况温度的传感器之间形成恒定温差。当保持温差不变时，电加热消耗的能量，也可以说热消散值，与流过气体的流量成正比。

流量控制器

蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点－岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜。 对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且沉积在基片表面，吉林多晶炉流量计，经历成膜过程，形成薄膜。

气体流量控制器和流量计应该如何接线

随着气体流量控制器和流量计在日常使用中越来越频繁，有很多朋友对其接线方式还不是很明了，今天，咱们就来简单的说一---量控制器和流量计的接线方式。

流量控制器和流量计的品牌很多，电气接口有db9针的，也有db15针的，而松盛测控的流量控制器和流量计大多都是db9针的。其实，不管是9针还是15针，首先要明确电源的正负两根线，如果正负接错了，则很有可能把控制器或者是流量计烧出故障。然后再明确咱们使用的信号，控制器输出接仪表输入，控制器输入接仪表输出，再接上信号公共端；不过流量计要比控制器少接一根线，因为流量计只是一个检测功能，多晶炉流量计多少钱，没有控制的功能，所以会少接一根信号输入。

通常，控制器和流量计都会配合仪表来控制或者检测，仪表检测会方便；出厂时会根据用户的要求将量程调节好，这样用户拿到现场直接插电就用；不过也有用户用现场的plc来控制或者检测，这样的话就要注意---所说的接线方式。

好了，今天咱们就简单的说到这里，如果还有什么疑问，可以留言哦。