流量控制器，即massflowcontroller(mfc)，不但具有流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，mfc自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。流量控制器（mass flow controller缩写为mfc）用于对于气体或者液体的流量进行精密测量和控制。扩散，氧化，分子束外延，cvd，热式流量计，等离子刻蚀，溅射，离子注入，以及真空镀膜设备，光纤熔炼，微反应装置，混气配气系统，毛细管测量气象色谱仪，光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工。冶金，制药等。特点：精度高，热式流量计价格，重复性好。
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流量控制器的工作压差范围通常比较小， 要在高压条件下正常使用需要---注意三点: 一， 是要选择耐压符合要求的mfc; 二， 是要挑选工作压差范围大的产品型号; 三， 要在mfc气路前面加减压阀， 稳定入口气压， 在mfc下游加背压阀， 稳定反应室和mfc出口的气压， 适当调节减压阀和背压阀， 要---mfc的工作压差不会超过规定的范围。只要做到以上三点， mfc就能够在高压条件下稳定工作。
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数字化流量控制器内置mcu多功能微处理器，热式流量计， 可以对采集到的流量信号进行数字化处理， 进行温度线性校正， 具有比模拟式产品更高的精度和线性性能。数字化的pid控制功能，热式流量计厂家， 能提高稳定性和智能化地改变响应特性。串行通讯， 使mfc更便于进行计算机系统控制。数字化智能化的mfc逐步替代全模拟的mfc， 这是技术发展的必然潮流。
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