多晶炉流量计----厚礼博精密仪器-多晶炉流量计

流量控制器的特点

地定量控制流量

流量控制器可以地控制气体的给定量，这对很多工艺过程的流量控制、对于不同气体的比例控制等---有用。

适用范围宽

有很宽的工作压力范围，多晶炉流量计，我们的产品可以从真空直到10mpa; 可以适用于多种气体介质（包括一些腐蚀性气体，如hcl）；有很宽的流量范围，我们的产品流量范围可达0～5 sccm，流量范围可达0～200 slm。流量显示的分辨率可达满量程的0.1%， 流量控制范围是满量程的2～100% 量程比为-- 50:1， 因此在很多领域得到广泛应用。

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流量控制器基本原理

通过测量气体流经流量器内加热元件时的冷却效应来计量气体流量的。气体通过的测量段内有两个热阻元件，多晶炉流量计型号，其中一个作为温度检测，另一个作为加热器。温度传感元件用于检测气体温度，加热器则通过改变电流来保持其温度与被测气体的温度之间有一个恒定的温度差。当气体流速增加，冷却效应越大，使须保持热电阻间恒温的电流也越大。此热传递正比于气体流量，即供给电流与气体流量有一对应的函数关系来反映气体的流量。

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