




流量控制器,即massflowcontroller(mfc),不但具有流量计的功能,更重要的是,它能自动控制气体流量,即用户可根据需要进行流量设定,mfc自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。流量控制器(mass flow controller缩写为mfc)用于对于气体或者液体的流量进行精密测量和控制。扩散,氧化,分子束外延,cvd,等离子刻蚀,溅射,流量控制器厂家,离子注入,以及真空镀膜设备,光纤熔炼,微反应装置,混气配气系统,热式气体流量控制器厂家,毛细管测量气象色谱仪,流量控制器厂家,光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工。冶金,气体流量控制器厂家,制药等。特点:精度高,重复性好。
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流量控制器的特点是:当自力式流量控制阀进口、出口压差变化时,通过自力式流量控制阀的流量恒定不变。
流量控制器的性能参数有:流量控制精度、工作压差范围、启动压差
工作压差范围指的是当流量控制器进口、出口压差变化在多大范围时,能保持通过流量控制器的流量恒定不变。行业标准中规定工作压差范围0.03-0.3mpa,a类产品工作压差范围达到0.03-0.4mpa。工作压差范围的大小取决于自力式流量控制阀的设计。
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热式流量器的基本原理是利用外部热源对管道内的被测流体加热,热能随流体一起流动,通过测量因流体流动而造成的热量(温度)变化来反映出流体的流量。
当流体成分确定时,流体的定压比热为已知常数。因此由上式可知,若保持加热功率恒定,则测出温差便可求出流量;若采用恒定温差法,即保持两点温差不变,则通过测量加热的功率也可以求出流量。由于恒定温差法较为简单、易实现,所以实际应用较多。这种流量计多用于较---体流量的测量。
为避免测温和加热元件因与被测流体直接接触而被流体玷污和腐蚀,可采用非接触式测量方法,即将加热器和测温元件安装在薄壁管外部,而流体由薄壁管内部通过。非接触式测量方法,适用于小口径管道的微小流量测量。当用于大流量测量时,可采用分流的方法,即仅测量分流部分流量,再求得总流量,以扩大量程范围。
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