




流量控制器由流量传感器、分流器通道、流量调节阀门和放大控制器等部分组成。流量控制器的剖面结构图见图1。气体流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的流量(无需温度压力补偿)。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大,气体流量控制器哪里有, 放大后的流量检测电压与设定电压进行比较, 再将差值信号放大后去控制调节阀门,闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。与流量控制器配套的流量显示仪上设置有稳压电源,数字电压表, 设定电位器,流量控制器哪里有, 外设、内设转换和三位阀控开关等。气体流量控制器与流量显示仪连接后的工作原理。

提高气体流量控制器实用准确度的措施为:
1.针对气体流量控制器的实际工艺参数,对该流量计进行“个性化标准”,从而实现在实际使用流量点的一定范围内,该气体流量控制器的实际测量误差(与标准值的差)趋于零。
2.把好气体流量控制器的安装环节,减少或消除机械应力、机械扭力和机械振动等对该流量计使用的影响。
3.考虑工艺压力、温度等对气体流量控制器测量准确度的影响。
4.把好气体流量控制器的投用关。
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由于到达设定值后控制器可能会发生超调,流量控制器哪里有,所以通常制造商用到达设定值且稳定后所需要的时间作为设备响应速度,并赋予波形振荡幅度一个容许范围。举个例子, 容许范围2%表示流量波动在设定值的2%以内即为稳定。一般流量控制器的精度在0.5%~2%之间,但一些制造商却将稳定容许范围扩大到10%。我们认为如果用户要将流量控制在期望的设定值,那么其稳定容许范围也必须落在设备精度范围内。如下面示波器截屏图所示,控制器在27.6毫秒时到达了与设备精度(满量程的1%)等同的稳定容许范围。
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