




流量控制器,即massflowcontroller(mfc),不但具有流量计的功能,更重要的是,它能自动控制气体流量,即用户可根据需要进行流量设定,mfc自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。流量控制器(mass flow controller缩写为mfc)用于对于气体或者液体的流量进行精密测量和控制。扩散,氧化,分子束外延,流量控制器价格,cvd,等离子刻蚀,气体流量控制器价格,溅射,离子注入,流量控制器价格,以及真空镀膜设备,光纤熔炼,微反应装置,混气配气系统,毛细管测量气象色谱仪,光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工。冶金,制药等。特点:精度高,重复性好。
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1)热分布式 大部分热分布式tmf的流量传感器可任何姿势(水平、 垂直或倾斜)安装,有些仪表只要安装好后在工作条件压力、温度下作电气零点调整。然而有些型号仪表对安装姿势具有敏感性,大部分制造厂会对此就安装姿势影响和安装要求作出说明。例如ldg-□db系列为减少环境气氛对流传热影响,只能水平安装,水平度允差±20。应用于高压气体时流量传感器则宁可选择水平安装,因为这样便于做到调零的零偏置。
2)浸入式 大部分浸入式tmf性能不受安装姿势影响。然而在低流速测量时因受管道内气体对流的热流影响,使安装姿势显得重要。因此在低和非常低流速流动时要获得准确测量,必须遵循制造厂依据仪表设计结构而定的安装建议。

(1) 流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。
对于多数流量测控系统而言,很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。对于普通的流量计,压力及温度的波动将导致较大的误差;对于流量计 / 流量控制器,则一般可以忽略不计。
(2) 测量控制的自动化
流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。这样很容易实现对流量的数字显示﹑累积流量自动计量﹑数据自动记录﹑计算机管理等。对流量控制器而言,还可以实现流量的自动控制。通常, 模拟的mfc/mfm输入输出信号为0~+5v或4~20ma, 数字式mfc/mfm还配有rs232或rs485数字串行通讯口, 能非常方便地与计算机连接, 进行自动控制。
(3) 地定量控制流量
流量控制器可以地控制气体的给定量,这对很多工艺过程的流量控制﹑对于不同气体的比例控制等---有用。
(4) 适用范围宽
有很宽的工作压力范围,我们的产品可以从真空直到10mpa; 可以适用于多种气体介质(包括一些腐蚀性气体,如hcl);有很宽的流量范围,我们的产品流量范围可达0~5 sccm,流量范围可达0~200 slm。流量显示的分辨率可达满量程的0.1%, 流量控制范围是满量程的2~100% (量程比为-- 50:1), 因此在很多领域得到广泛应用。
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