




怕粉尘, 若粉尘进入流量计会堵塞传感器和分流器, 造成测量误差, 要求在进气口前加装过滤器;
怕液体和油污进入mfc, 会造成失控, 如果mfc的出口接有液体罐,气体流量控制器厂家, 需要在mfc出口加上单向阀, 防止液体回流;
怕使用潮湿的腐蚀性气体, 潮湿的腐蚀性气体会使不锈钢生锈, 造成mfc通道损坏,气体流量控制器价格, 因此要求在使用腐蚀性气体前, 要对气体和mfc管路系统进行干燥处理;
怕在使用强腐蚀性、有毒等危害性气体时不按安全规则操作, 有可能造成产品损坏和其它更---的损失。正确使用, 安全操作, 对每个用户都是重要的。
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物理时间常数
物理时间常数用希腊字母tau来表示,是现今为数不多的用来描述响应时间的标准之一,即:控制器到达设定值某个百分比所需要的时间,气体流量控制器,被定义为1-1/e, 其中e是作为自然对数底数的无理数,其值为2.72,所以1-1/e即为设定值的63.2%。虽然该定义是一个物理标准,可能说明不了什么问题,因为余下的设定值的36.8%所花费的时间可能多于或少于之前的63.2%。从下面示波器截图中可以看到:alicat?流量控制器仅用了7.4毫秒便到达了设定值的63.2%。
任意设定值百分比变化区域
不少流量控制器的技术参数采用设定值某一百分比区间内的变化来定义设备响应速度,比如:从设定值的10%到达90%所需要的时间。由于和后的 10%控制响应曲线变化,由此而得出的控制响应速度可能无法与实际的控制性能等同。如下图所示,alicat?流量控制器用了11.4毫秒到达设定值, 从示波器波形图中可以清晰地观察到:50%那段跨度,气体流量控制器哪里有,低于10%和高于90%那两段的跨度则小了很多。就该图而言,如果按照从设定值10%到达90%所用的时间来定义设备响应速度的话,那么结论是6~7毫秒。
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流量计,即mass flow meter(缩写为mfm), 是一种准确测量气体流量的仪表,其测量值不因温度或压力的波动而失准,不需要温度压力补偿。
流量控制器, 即mass flow controller(缩写为mfc), 不但具有流量计的功能,更重要的是,它能自动控制气体流量,即用户可根据需要进行流量设定,mfc自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。简单地说,流量控制器就是一个稳流装置, 是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。

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