




流量控制器由流量传感器、分流器通道、流量调节阀门和放大控制器等部分组成。流量控制器的剖面结构图见图1。气体流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的流量(无需温度压力补偿)。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大, 放大后的流量检测电压与设定电压进行比较, 再将差值信号放大后去控制调节阀门,闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。与流量控制器配套的流量显示仪上设置有稳压电源,数字电压表, 设定电位器,热式气体流量控制器, 外设、内设转换和三位阀控开关等。气体流量控制器与流量显示仪连接后的工作原理。

前置直管段
1)热分布式 本类仪表对上下游配管布置不敏感,通常认为无上下游直管段长度要求。国际标---iso/dis 11451认为流量测量不受旋转流和流速场剖面畸变影响。然而bs 7405却认为;上下游直管段长度可小至2d;在进口端置一金属(或塑料)网,可有效地---流速分布畸变,热式气体流量控制器厂家,得到分布均匀的气流;要防止从小管径突然扩大进入较大口径仪表,要缓慢过渡。
2)浸入式 带测量管的浸入式流量传感器和插入式仪表需要一定长度前置直管段,iso/dis 14511对此未作具体规定,而按制造厂建议的值。bs 7405建议对于在管道中用插入热丝流速计时,需要(8~10)d的上游直管段和(3~5)d的下游直管段。表4列举sierra公司对带测量管浸入式tmf所规定的上直管段长度;若在其进口端装一块或二快多孔板式流动调整器(整流器)后,则其长度可大为缩短。

流量控制器的工作压差范围通常比较小, 要在高压条件下正常使用需要---注意三点: 一, 是要选择耐压符合要求的mfc; 二,热式气体流量控制器哪里有, 是要挑选工作压差范围大的产品型号; 三, 要在mfc气路前面加减压阀, 稳定入口气压, 在mfc下游加背压阀, 稳定反应室和mfc出口的气压, 适当调节减压阀和背压阀, 要---mfc的工作压差不会超过规定的范围。只要做到以上三点, mfc就能够在高压条件下稳定工作。
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