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流量控制器分类

按照通讯方式的不一样，热式气体流量控制器主要分为模拟型0-5v或4-20ma和数字型rs485 modbus rtu协议。随着工业行业的节能减排、节约成本、保护环境这方面的要求越来越严格，气体流量控制器在各行业中都广泛使用，---是在：钢铁冶金、行业、新能源行业、氢燃料电池等行业。

应用行业：真空镀膜设备、半导体工艺设备、化学与化工实验设备、食品科学与工程设备、能源与环境保护设备、各种分析仪器设备、表面处理、真空冶金及材料工艺、高校及科研院所实验室设备。

流量控制器的应用中ist流量传感器的作用

ist-ag通过特殊的薄膜工艺，将---加热器，温度传感器或电堆封装在单一芯片内，构成流量测量的主要传感单元（figure 2） ，通过流量传感器以响应绝大多数流量测量场景，薄膜技术的应用使得ist ag流量传感器具有---的结构与---势。为此ist流量传感器在mfc中的应用工采网瑞士ist 流量传感器 - fs5.0.1l.195的升级版ist-ag fs7流量传感器。

ist公司的fs5.0.1l.195是一个热质流量传感器，用于各种气流应用.热质流量传感器使用热传递原则，确定流体的流率.随着流体通过传感器，热质由传感器传递到媒体.此关序取决于流动速率.随着流动增加，热量被传递.通过了解媒体的温度，流量计多少钱，即可通过为保持恒定温度差的电压补偿量得出流速。

而ist-ag fs7流量传感器宽广的测量范围允许将传感器直接置于被测气路当中，免去复杂的旁路设计。传感器具有陶瓷基底与钝化玻璃层进行保护，具有较佳的长期稳定性。

因此在终端应用中，流量控制器的---性多半是许多半导体工艺的基础。mfc 的失准或制造缺陷会导致晶圆产量下降，甚至会损坏整个晶圆。采用ist流量传感器则可以为mfc产品带来如下优势:

1、足够宽的测量范围使得在许多场景中不必使用旁路，流量计厂家，而进行直接测量，提高测量的准确性。

2、薄膜技术带来---的响应灵敏度，在一般测量状态就可以瞬间响应压力浪涌。

3、小巧的体积与简单的安装方式，给气路结构优化创造的空间。